И-СЗМ
Сканирующий зондовый микроскоп с широким выбором методик
Технические характеристики измерительной головки И-СЗМ:
1. Объем сканирования 50 мкм * 50 мкм * 6 мкм2. Точность позиционирования сканера в горизонтальной плоскости 2 нм3. Точность позиционирования сканера по вертикали 0.5 нм4. Разрешение позиционирования сканера в горизонтальной плоскости 0.41 нм5. Разрешение позиционирования сканера по вертикали 0.094 нм6. Методики: ССМ, СТМ, СМИП
В комплект входят:
1. Измерительная головка2. Контроллер СЗМ
3. Специализированное ПО4. Установка для травления вольфрамовых зондов
Проект реализован при поддержке Фонда содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере
